发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND INSPECTION AND OPERATION METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11162197(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19980228906 申请日期 1998.08.13
申请人 SIEMENS AG 发明人 KRAUSE GUNNAR
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;G11C11/401;G11C29/04;G11C29/14;G11C29/48;H01L21/66;(IPC1-7):G11C29/00;G01R31/318;G11C29/00 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利