发明名称 FORMATION OF OPENINGS IN INSULATING LAYERS IN MOS SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 US3674551(A) 申请公布日期 1972.07.04
申请号 USD3674551 申请日期 1970.10.12
申请人 RCA CORP. 发明人 TERRY GEORGE ATHANAS
分类号 H01L21/00;H01L21/32;H01L23/29;H01L23/485;H01L27/00;(IPC1-7):C23F1/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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