PERFECCIONAMIENTO PARA MEJORAR EL VACIO EN UN SISTEMA DE VACIO MUY ELEVADO.

摘要

DISPOSICION QUE PERMITE MEJORAR EL VACIO EN UN SISTEMA DE MUY GRAN VACIO (ULTRAVACIO) QUE COMPRENDE UN RECINTO METALICO SUSCEPTIBLE DE LIBERAR GAS EN SU SUPERFICIE, QUE CONSISTE EN UN REVESTIMIENTO DEPOSITADO EN AL MENOS LA CASI TOTALIDAD DE LA SUPERFICIE DE LA PARED METALICA QUE DEFINE EL RECINTO, CARACTERIZADO PORQUE EL REVESTIMIENTO COMPRENDE TAMBIEN UNA SUBCAPA DE GETTER NO EVAPORABLE DEPOSITADO EN DICHA SUPERFICIE DE LA PARED METALICA QUE DEFINE EL RECINTO Y EN ESTA SUBCAPA, AL MENOS UNA CAPA FINA DE AL MENOS UN CATALIZADOR ELEGIDO ENTRE EL RUTENIO Y/O EL RODIO Y/O EL PALADIO Y/O EL SOMIO Y/O EL IRIDIO Y/O EL PLATINO Y/O UNA ALEACION QUE CONTIENE AL MENOS UNO DE ELLOS.