XY引导台

摘要

本发明的目的是提供一种XY引导台，该XY引导台通过提高形成滚珠滚动面的部位的刚性，以此排除滚珠与滚珠滚动槽的间隙，可将上部板相对于下部板不晃荡地向X方向以及Y方向引导，并可形成为非常薄的形状。该XY引导台具有通过滚珠相互组装的下部板、中间板和上部板，所述下部板以及上部板分别具有一对剖面为大致矩形的导轨主体以及夹持在这些导轨主体之间的收容槽，并形成为大致沟槽状，在面对收容槽的各导轨主体的侧面形成滚珠的滚动槽，这些板部使各个收容槽相互相对且直交地层压重叠，所述中间板形成为大致矩形形状，下半部分松动配合在下部板的收容槽内，另一方面，上半部分松动配合在上部板的收容槽内。

主权项

1.一种XY引导台，具有：下部板、中间板和上部板，中间板通过多个滚动体安装在该下部板上、可向X方向自由移动；上部板通过多个滚动体安装在该中间板上、向与所述X方向直交的Y方向自由移动，其特征在于，所述下部板以及上部板分别具有一对形成有连结部件的安装孔的、剖面为大致矩形的导轨主体以及结合这些导轨主体的连接板部，并且所述下部板以及上部板形成为在一对导轨主体之间具有对应于所述连接板部的宽度的收容槽的大致沟槽状，在面对收容槽的各导轨主体的侧面形成滚动体的滚动槽，这些上部板和下部板使各个收容槽相互相对且直交地层压重叠，所述中间板形成为大致矩形形状，其下半部分松动配合在下部板的收容槽内，另一方面，其上半部分松动配合在上部板的收容槽内，在与形成在下部板以及上部板的导轨主体上的滚动体滚动槽相对的位置上形成有滚动体滚动槽。