用于分开一光束之系统及方法,以及刻印一图案之方法

摘要

本发明系关于一种用于将一光束分开为一对聚焦光束之方法，其中该光束穿过一聚焦装置(21)而聚焦且藉由一射束分离器(24)而分开为聚焦于不同位置上的一对光束，该射束分离器(24)包含折射率为各向异性并成形且定向以使得二次光束出射为一对聚焦光束的材料。在该方法之较佳实施例中，首先藉由一射束分开器(15)将光束分开为一在一传输方向上传播之线性偏振光束，及一在一反射方向上传播之二次光束，该二次光束在一与在该传输方向上传播之该光束之偏振方向正交的方向上偏振，且其中该二次光束聚焦为一对聚焦光束。