发明名称 PEELING METHOD FOR VACUUM-DEPOSITED THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6396280(A) 申请公布日期 1988.04.27
申请号 JP19860241293 申请日期 1986.10.13
申请人 AKIMOTO YASUNOBU 发明人 AKIMOTO YASUNOBU
分类号 C23F1/00;H01L23/50 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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