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发明名称 AUTOMATIC TEST PATTERN GENERATING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH01307680(A) 申请公布日期 1989.12.12
申请号 JP19880138440 申请日期 1988.06.07
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KONO KAZUYOSHI
分类号 G01R31/3183;G01R31/28;G06F17/50;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/3183
代理机构 代理人
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