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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0387060(A) 申请公布日期 1991.04.11
申请号 JP19890226076 申请日期 1989.08.30
申请人 NEC CORP 发明人 ARITOKU TAKEHIRO
分类号 H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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