| 发明名称 |
AUTOMATIC FREQUENCY FOLLOWING IN A CORPUSCULAR BEAM-MEASURING METHOD USING A MODULATED PRIMARY BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0310816(B1) |
申请公布日期 |
1991.11.06 |
| 申请号 |
EP19880114378 |
申请日期 |
1988.09.02 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
BRUST, HANS-DETLEF |
| 分类号 |
H01J37/26;H01J37/28;H01L31/00;G01N23/22;G01Q30/02;G01R19/00;G01R31/302;G01R31/305 |
主分类号 |
H01J37/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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