发明名称 METHOD FOR CONTROLLING BUMP HEIGHT OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04294542(A) 申请公布日期 1992.10.19
申请号 JP19910083481 申请日期 1991.03.22
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 OKETA YUKIHIRO
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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