发明名称 铰接臂传送装置
摘要 一个用于铰接臂传送装置的同心轴旋转驱动系统可将运动传给在一真空室内的组合件,其中将旋转运动传给在真空室内的转子是通过设在真空室外的定子所产生的磁场来完成的。
申请公布号 CN1121331A 申请公布日期 1996.04.24
申请号 CN94191774.6 申请日期 1994.04.13
申请人 布鲁克斯自动化公司 发明人 C·霍夫迈斯特
分类号 B25J21/00;H02K16/00 主分类号 B25J21/00
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 崔幼平;章社杲
主权项 1.装置,它具有:一个设有一个孔眼和一个装在所说孔眼上的带盖的管状件的真空室,该管状件包括一个第一驱动壳体和一个第二驱动壳体;一根用轴承装在所说第一驱动壳体上内侧的外轴;一根设在所说外轴内并与它同心的内轴,该内轴同轴承装在所说第二驱动壳体上的内侧;一个装在所说外轴上的第一转子;一个装在所说内轴上的第二转子;一个装在所说第一驱动壳体上并位于其外侧的第一定子;一个装在所说第二驱动壳体上并位于其外侧的第二定子;一个将所说外轴支承在所说内轴上的导向轴承;及用来使每一个所说定子将一合适的电磁场施加到其相关的转子上以便使它进行旋转运动的部件。
地址 美国马萨诸塞州