发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10144801(A) 申请公布日期 1998.05.29
申请号 JP19960303275 申请日期 1996.11.14
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ONOMURA JIYUNKO;SUGIYAMA TORU;MORITSUKA KOHEI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/095;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
地址