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发明名称 LIQUID COOLED TRAP
摘要
申请公布号 EP0956142(A1) 申请公布日期 1999.11.17
申请号 EP19970907580 申请日期 1997.02.07
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 GU, YOUFAN;HAUSCHULTZ, DANA, S.
分类号 B01D5/00;B01D7/02;B01D8/00;B01D53/00;C23C16/44;H01L21/31;(IPC1-7):B01D53/26 主分类号 B01D5/00
代理机构 代理人
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