| 发明名称 | 盘片握持器及具有该盘片握持器的盘片旋转装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开一种盘片握持器，适用于一化学机械研磨设备的一盘片旋转装置。盘片握持器包括一座体及一围篱。座体具有一承接面于其底部，用以让一盘片承接其上。围篱连接至座体的外缘，并自座体的外缘朝向座体的上方延伸。此盘片握持器可通过增设的围篱在离心力的影响下阻止在座体上的碎屑被甩离自座体。 | ||
| 申请公布号 | CN200988163Y | 申请公布日期 | 2007.12.12 |
| 申请号 | CN200620147476.9 | 申请日期 | 2006.12.08 |
| 申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 蔡志铭 |
| 分类号 | B24B29/02(2006.01);H01L21/304(2006.01);B24B47/12(2006.01) | 主分类号 | B24B29/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陈小雯;李晓舒 |
| 主权项 | 1.一种盘片握持器，适用于一化学机械研磨设备的一盘片旋转装置，其特征在于，该盘片握持器包括：一座体，具有一承接面于其底部，用以让一盘片承接其上；以及一围篱，连接至该座体的外缘，并自该座体的外缘朝向该座体的上方延伸。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学工业园区 | ||