| 摘要 |
<p>Système et procédé permettant de mélanger et/ou de diluer des fluides ultrapurs, tels que des acides liquides, pour la fabrication de semi-conducteurs. Ledit système comporte des premier et second distributeurs chimiques adaptés pour contenir respectivement des premier et second fluides à mélanger, un raccord entre les premier et second distributeurs chimiques qui permet aux premier et second fluides de s'écouler par ledit raccord et de se mêler pour former un fluide mélangé, ledit raccord permettant en outre au fluide mélangé de s'écouler jusqu'à un lieu requis par l'opérateur, et un dispositif d'émission d'ondes ultrasoniques (28). Ledit dispositif est placé en un lieu lui permettant d'émettre une onde ultrasonique à travers le fluide mélangé et comporte un moyen destiné à mesurer la vitesse de l'onde à travers le fluide mélangé et donc à mesurer indirectement une proportion définie par une quantité du premier produit chimique par rapport à une quantité du second produit chimique dans le fluide mélangé.</p> |
