一种微探针加工成形系统及方法

摘要

本发明公开了一种微探针加工成形系统及方法，涉及微探针加工制造领域。该系统包括：微探针毛坯拉制装置和微探针尖端热成形装置两部分。所述的微探针毛坯拉制装置能够根据需要拉制出具有不同锥角和长‑径比的微探针毛坯；所述的微探针尖端热成形装置可以对微探针尖端进行加热成形；对应上述一种微探针加工成形系统的加工方法包括对微探杆毛坯的拉锥和对微探针毛坯进行热加工处理两个步骤。利用该系统和相应的方法制备微探针时，能够简化操作流程，节省操作时间，不易使探针尖端遭受环境污染，提高探针的形貌质量，满足微细加工及精密测量对微探针几何精度的要求。

主权项

一种微探针加工成形系统，其特征是：包括微探针毛坯拉制装置和微探针尖端热成形装置；所述的微探杆毛坯拉制装置能够将微探杆毛坯拉制成具有不同的锥角和长‑径比的微探针毛坯；所述的微探针尖端热成形装置能够对微探针毛坯尖端进行加热成形。