发明名称 MANUFACTURE OF SILICON GATE MOS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01161866(A) 申请公布日期 1989.06.26
申请号 JP19870320509 申请日期 1987.12.18
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUNAGA TAKAKO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L29/78 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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