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经营范围
发明名称
ION SOURCE OF ION IMPLANTER FOR FABRICATING THE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR20050111820(A)
申请公布日期
2005.11.29
申请号
KR20040036711
申请日期
2004.05.24
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
PARK, BYUNG HYUN;LEE, HA SUNG
分类号
H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30
主分类号
H01J37/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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