带电粒子束装置

摘要

本发明提供带电粒子束装置，其自动重复这样的动作：取出通过利用离子束的试样的加工而形成的试样片并使其移设到试样片保持器。该带电粒子束装置具有计算机，该计算机使用由吸收电流图像形成的模板、和从二次电子图像取得的针的前端坐标，以使针接近试样片的方式控制针驱动机构，该吸收电流图像是将带电粒子束照射到针而得到的，该二次电子图像是将带电粒子束照射到针而得到的。

主权项

一种带电粒子束装置，其从试样自动制作试样片，其特征在于，具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样载物台，其放置并移动所述试样；试样片移设单元，其保持并运送从所述试样分离和取出的所述试样片；保持器固定座，其保持试样片保持器，所述试样片被移设到该试样片保持器；以及计算机，其根据基于通过所述带电粒子束的照射所取得的对象物的图像所生成的模板、和从所述对象物的图像得到的位置信息，进行与所述对象物相关的位置控制。