| 发明名称 |
PLATING DEVICE FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11315383(A) |
申请公布日期 |
1999.11.16 |
| 申请号 |
JP19980096974 |
申请日期 |
1998.03.26 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
HONGO AKIHISA;SUZUKI KENICHI;CHONO ATSUSHI |
| 分类号 |
C23C18/31;C25D7/12;C25D17/00;C25D19/00;H01L21/288;(IPC1-7):C23C18/31 |
主分类号 |
C23C18/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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