平坦度调整系统及可调变针型承载吸盘

摘要

一种平坦度调整系统，包括一可调变针型承载吸盘、一平坦度侦测装置以及一长度控制装置。该可调变针型承载吸盘具有一底座以及至少一可调变顶针。该平坦度侦测装置系设置于该可调变针型承载吸盘之上。该长度控制装置系电性连接于该平坦度侦测装置以及该可调变顶针，以及该长度控制装置系改变该可调变顶针之长度。