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发明名称 MASS FLOW RATE CONTROLLER FOR FLUID
摘要
申请公布号 JPH02293628(A) 申请公布日期 1990.12.04
申请号 JP19890271431 申请日期 1989.10.18
申请人 UNIT INSTR INC 发明人 MAIKERU JIEI DOIRU
分类号 G01F1/76;G05D7/06;H01F7/16 主分类号 G01F1/76
代理机构 代理人
主权项
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