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发明名称 HERSTELLUNG VON MOS-INTEGRIERTEN SCHALTUNGSVORRICHTUNGEN.
摘要
申请公布号 DE3484220(D1) 申请公布日期 1991.04.11
申请号 DE19843484220 申请日期 1984.01.19
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH CO., NEW YORK, N.Y., US 发明人 FULS, NELSON, ELLIS, BERNARDSVILLE, NJ 07924, US;LIFSHITZ, NADIA, MURRAY HILL, NJ 07974, US;VAIDYA, SHEILA, BRIDGEWATER, NJ 08807, US
分类号 H01L29/78;H01L21/225;H01L21/285;H01L21/3215;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/74;H01L21/265 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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