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发明名称
摘要
申请公布号 JP2560072(B2) 申请公布日期 1996.12.04
申请号 JP19880061501 申请日期 1988.03.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUZUKI HISAYA;ITO JUNICHI
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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