发明名称 Micromachined devices
摘要
申请公布号 GB9625722(D0) 申请公布日期 1997.01.29
申请号 GB19960025722 申请日期 1996.12.11
申请人 GEC-MARCONI LIMITED 发明人
分类号 H01L37/02 主分类号 H01L37/02
代理机构 代理人
主权项
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