发明名称 PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL AND PRODUCTION APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH10338592(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19970148250 申请日期 1997.06.05
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 WACHI MICHINORI;MIZUNIWA SEIJI;ITANI MASAYA
分类号 C30B11/00;C30B29/42;(IPC1-7):C30B11/00 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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