发明名称 |
PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL AND PRODUCTION APPARATUS THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10338592(A) |
申请公布日期 |
1998.12.22 |
申请号 |
JP19970148250 |
申请日期 |
1997.06.05 |
申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
WACHI MICHINORI;MIZUNIWA SEIJI;ITANI MASAYA |
分类号 |
C30B11/00;C30B29/42;(IPC1-7):C30B11/00 |
主分类号 |
C30B11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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