| 发明名称 |
ROTATING TYPE COATING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11314063(A) |
申请公布日期 |
1999.11.16 |
| 申请号 |
JP19990030258 |
申请日期 |
1999.02.08 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
YAMAMOTO MASAAKI |
| 分类号 |
B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):B05C11/08 |
主分类号 |
B05C11/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
