改性二氧化硅溶胶及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了改性二氧化硅溶胶及其制备方法，以及含有该改性二氧化硅溶胶的抛光液。该改性二氧化硅溶胶的二氧化硅表面键合了含环氧基基团的硅烷偶联剂。将二氧化硅溶胶、表面活性剂、以及含有环氧基基团的硅烷偶联剂混合后，进行改性反应即可。本发明的改性二氧化硅溶胶中，二氧化硅粒子表面接枝了环氧基团，一方面改变了二氧化硅粒子的亲水性，另一方面改变了二氧化硅粒子与晶圆、抛光垫表面的相互作用。基于以上两种性能改进，采用本发明所述的改性二氧化硅配制的CMP抛光液可具有较高的TEOS和BD抛光速率，同时对Ta、Cu抛光影响不大。

主权项

1.一种改性二氧化硅溶胶，其特征在于：二氧化硅表面键合了含环氧基基团的硅烷偶联剂。