结合四光束干涉辅助式微影以及其他光学微影技术的解析度提升技术

摘要

本发明揭示可例如使用干涉微影和光学微影技术在晶圆上提供多重微影曝光的方法与系统。本文多个实施例可平衡多重微影曝光之间的剂量和曝光速率，以在晶圆上提供所需的曝光。在其他实施例中提供多种辅助特征及/或是为不同的曝光提供增强的解析度。在一特定实施例中，先使用光学微影技术，然后再使用干涉微影技术来曝光晶圆。