在添加物存在下使用离子液体电沈积金属之方法

摘要

本发明系关于选自由非晶形氧化矽、石墨粉及其混合物所组成之群之添加物的用途，其系用于使用离子液体作为电解质于基板上电镀或电抛光一金属以提高金属层厚度之制程。本发明进一步系关于一种在一金属基板上电镀或电抛光一金属之方法，其中使用一离子液体作为电解质，其中使用一添加至该离子液体之金属盐或一金属阳极作为金属源，且其中该离子液体包括该添加物。