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发明名称
X-RAY EXPOSURE APPARATUS AND A MASK USABLE THEREWITHIN
摘要
申请公布号
EP0458539(A3)
申请公布日期
1992.06.03
申请号
EP19910304452
申请日期
1991.05.17
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
HARA, SHINICHI;AMEMIYA, MITSUAKI;UZAWA, SHUNICHI
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20;G03F1/14
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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