CONTROLE DE L'EPAISSEUR DE COUCHES MINCES.

摘要

L'invention se rapporte à un procédé et à un dispositif pour contrôler l'épaisseur et l'uniformité d'épaisseur d'une couche transparente déposée sur un substrat sous forme de feuille. De la lumière polychromatique (16) est projetée sur plusieurs endroits du substrat (10).En chaque endroit, l'intensité de la lumière réfléchie est mesurée (20) à au moins deux longeurus d'onde discrètes. Les mesures sont traitées (24) pour générer un signal électrique qui peut être comparé avec des valeurs-seuil prédéterminées et avec les signaux électriques et avec les signaux électriques générés aux autres endroits pour indiquer si l'épaisseur est comprise entre des tolérances prédéterminées. L'invention est utilie pour contrôler l'épaisseur d'une couche en cours de fabrication.