低温泵及其再生方法

摘要

本发明提供一种低温泵及其再生方法，本发明的课题在于，在低温泵的再生中促进水的排出。本发明的低温泵的再生方法具备：第1排出工序（S12），包括在第1压力范围内交替进行低温泵容器的排气和吹扫气体的供给；第2排出工序（S18），包括使低温泵容器排气直至低于第1压力范围的低压区域。第2排出工序包括如下步骤：在低压区域至少判定一次是否结束第2排出工序；及在首次判定是否结束第2排出工序之前，向低温泵容器供给吹扫气体。

主权项

一种低温泵，其特征在于，具备：低温板；低温泵容器，容纳所述低温板；及控制部，构成为为了所述低温板的再生而控制所述低温泵容器的排气和向所述低温泵容器的吹扫气体的供给，所述控制部执行如下工序：第1粗抽及吹扫工序，包括在第1压力范围内交替进行所述低温泵容器的第1排气和所述吹扫气体的供给；及第2粗抽及吹扫工序，包括交替进行使所述低温泵容器排气直至低于所述第1压力范围的低压区域的第2排气和所述吹扫气体的供给，所述第2粗抽及吹扫工序包括如下步骤：在所述低压区域至少判定一次是否结束所述第2粗抽及吹扫工序；及在首次判定是否结束所述第2粗抽及吹扫工序之前，向所述低温泵容器供给吹扫气体。