Ein Verfahren zur Realisierung des dynamischen Gleichgewichts der Magnetschwebe-Molekularpumpe

摘要

Ein Verfahren zur Realisierung des dynamischen Gleichgewichts der Magnetschwebe-Molekularpumpe, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren umfasst: Nach dem Einschalten des Magnetschwebe-Molekularpumpe-Motors (8) beschleunigt sich der Motor, dann wird der Steuermodul der Kraft-Steuerung-Unwucht-Schwingung in dem Magnetschwebe-Molekularpumpe-Kontroller (2) gestartet, unter der Steuerung des Magnetschwebe-Molekularpumpe-Kontrollers (2) sammelt der Verschiebungsdetektor (18) das radiale Verschiebungssignal des Magnetschwebe-Molekularpumpe-Rotors, und erfasst die radiale Amplitude des Rotors, wenn unter der Steuerung des Steuermoduls der Kraft-Steuerung-Unwucht-Schwingung wegen der Unwucht-Masse des Rotors die maximale axiale Amplitude des Rotors während der Beschleunigung 1/2 der Schutzlücke nicht überschreitet, wird die synchrone Schwingung des Rotors von dem Steuermoduls der Kraft-Steuerung-Unwucht-Schwingung unterdrückt, sodass die Rotordrehzahl seine starre kritische Drehzahl überschreiten kann, und geht zum Schritt ➁ wenn die maximale axiale Amplitude des Rotors 1/2 der Schutzlücke überschreitet, wird hier dann das traditionelle Verfahren zur Realisierung des dynamischen Gleichgewichts verwendet, zuerst wird das dynamische Gleichgewichts bei einer niedrigen Geschwindigkeit durchgeführt, sodass die maximale axiale Amplitude des Rotors 1/2 der Schutzlücke nicht überschreitet, während die Rotordrehzahl seine starre kritische Drehzahl überschreitet; Wenn die Rotordrehzahl seine starre kritische Drehzahl überschritten ist, geht dann zum Schritt ➁. Der Motor (8) beschleunigt sich weiter, erfassen der Verschiebungs ...