发明名称 Verfahren zum Zerteilen einer Halbleiterscheibe durch Ritzen und Brechen
摘要
申请公布号 DE1752866(A1) 申请公布日期 1971.04.08
申请号 DE19681752866 申请日期 1968.07.27
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT MBH 发明人 GEHRKE,DIETMAR
分类号 B28D5/00 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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