发明名称 WERKWIJZE VOOR DE VERVAARDIGING VAN EEN HALFGELEIDER- INRICHTING.
摘要
申请公布号 NL8004586(A) 申请公布日期 1981.02.17
申请号 NL19800004586 申请日期 1980.08.13
申请人 HITACHI, LTD. TE TOKIO. 发明人
分类号 H01L21/3213;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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