发明名称 Verfahren zum Abscheiden eines keramischen Überzuges aus einem Metallnitrid oder -carbonitrid aus der Dampfphase bei niedriger Temperatur.
摘要
申请公布号 DE69005473(D1) 申请公布日期 1994.02.10
申请号 DE19906005473 申请日期 1990.02.12
申请人 NITRUVID, ARGENTEUIL, FR;FORTECH, PUTEAUX, FR 发明人 NOWAK, JEAN-FRANCOIS, F-42000 SAINT ETIENNE, FR;SCHUSTER, FREDERIC, F-31000 TOULOUSE, FR;MAURY, FRANCIS, F-31320 LABEGE, FR;MORANCHO, ROLAND, F-31200 TOULOUSE, FR
分类号 C04B41/50;C04B41/87;C07F11/00;C23C;C23C16/18;C23C16/34;C23C16/36;(IPC1-7):C04B41/87;C04B41/45 主分类号 C04B41/50
代理机构 代理人
主权项
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