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发明名称 Chemical-mechincal polishing machine and retaining ring thereof
摘要
申请公布号 GB9920573(D0) 申请公布日期 1999.11.03
申请号 GB19990020573 申请日期 1998.09.16
申请人 UNITED MICROELECTRONICS, CORP. 发明人
分类号 B24B37/04;B24B57/02 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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