| 发明名称 | 蚀刻剂组合物及使用其制造金属接线的方法 | ||
| 摘要 | 本文公开了蚀刻剂组合物，其包含：10重量％至20重量％的过硫酸盐；0.1重量％至10重量％的磷酸(H<sub>3</sub>PO<sub>4</sub>)或亚磷酸(H<sub>3</sub>PO<sub>3</sub>)；0.1重量％至2重量％的基于氮的环状化合物；0.1重量％至5重量％的磺酸化合物；0.1重量％至2重量％的铜腐蚀抑制剂；0.1重量％至2重量％的氟化合物；和使所有成份的总重量为100重量％的余量水。本文还公开了使用该蚀刻剂组合物制造金属接线的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN105734570A | 申请公布日期 | 2016.07.06 |
| 申请号 | CN201510994298.7 | 申请日期 | 2015.12.25 |
| 申请人 | 三星显示有限公司;株式会社东进世美肯 | 发明人 | 郑钟铉;朴弘植;文英慜;梁熙星;金奎佈;申贤哲;徐源国;金在明 |
| 分类号 | C23F1/18(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 张燕;王珍仙 |
| 主权项 | 一种蚀刻剂组合物，包含：10重量％至20重量％的过硫酸盐；0.1重量％至10重量％的磷酸H<sub>3</sub>PO<sub>4</sub>或亚磷酸H<sub>3</sub>PO<sub>3</sub>；0.1重量％至2重量％的基于氮的环状化合物；0.1重量％至5重量％的磺酸化合物；0.1重量％至2重量％的铜腐蚀抑制剂；0.1重量％至2重量％的氟化合物；和使所有成份的总重量为100重量％的余量水。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||