发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11251547(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980047252 申请日期 1998.02.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YOSHIDA TAKESHI
分类号 H01L27/10;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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