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发明名称 METHOD OF PRODUCING SOI STRUCTURES
摘要
申请公布号 GB9103007(D0) 申请公布日期 1991.03.27
申请号 GB19910003007 申请日期 1991.02.13
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/263;H01L21/321;H01L21/762 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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