发明名称 电浆蚀刻夹框的改良
摘要 本发明是一种电浆蚀刻夹框的改良,其是由框壁所围组而成的夹框,顶部与底部俱为开放端,且其尺寸不小于工作件的尺寸,底部则设升降连结装置;夹框围套工作件,当升降连结装置连结于升降装置并为升降时,改变夹框与工作件的空间,进而改变其内的电浆离子浓度。
申请公布号 CN1530472A 申请公布日期 2004.09.22
申请号 CN03119947.X 申请日期 2003.03.10
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 梁忠棋;张昭升;黄木上;彭顺煌
分类号 C25F3/02;C25F7/00;H01L27/12;C03C19/00 主分类号 C25F3/02
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 陈桢
主权项 1、一种电浆蚀刻夹框的改良,其特征在于,其是由框壁所围组而成的夹框,顶部与底部俱为开放端,且其尺寸不小于工作件的尺寸,底部则设升降连结装置;夹框围套工作件,当升降连结装置连结于升降装置并为升降时,改变夹框与工作件的空间,进而改变其内的电浆离子浓度。
地址 台湾省新竹市科学工业园区