衬底搬运机器人及处理装置

摘要

本发明的搬运机器人由呈同心状配备的2个驱动源、在各驱动源侧面突出配备的驱动臂、配备在驱动臂另一端的2个从动臂和在以2个成1组的从动臂的前端配备的手构成。该搬运机器人将各驱动源向不同方向或相同方向转动，由此能够经由各臂使第一手、第二手进行进退动作、转动。另外，配备搬运机器人的本发明的处理装置配备多个平面形状为四边形状的移载室并将其用连结处理室连结，利用在移载室的内部附近设置的衬底搬运机器人向配备在移载室各侧壁面上的2个处理室进行衬底的交接。

主权项

1.一种衬底搬运机器人，其搬运衬底，其特征在于，包括：在底板上具有转动轴的第一驱动源、与第一驱动源的转动轴呈同心状具有转动轴的第二驱动源、在该第一驱动源侧面突出配备的第一驱动臂、在该第二驱动源侧面突出配备的第二驱动臂、在该第一驱动臂另一端呈同心状能够独立转动地配备的第一从动臂和第二从动臂、在该第二驱动臂另一端能够在相同水平面内转动地配备的第三从动臂和第四从动臂、通过第一从动臂和第三从动臂能够转动地配备的第一手、通过第二从动臂和第四从动臂能够转动地配备的第二手，第一驱动源和第二驱动源向不同方向或相同方向转动，由此能够经由各臂使第一手、第二手进行进退动作及转动。