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发明名称
摘要
申请公布号
JPS571902(B2)
申请公布日期
1982.01.13
申请号
JP19740047310
申请日期
1974.04.26
申请人
发明人
分类号
H01L29/73;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/70
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
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