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发明名称 VERFAHREN ZUR BELICHTUNG EINER HALBLEITERWAFER MITTELS EINER QUECKSILBERDAMPFLAMPE
摘要
申请公布号 DE3510522(A1) 申请公布日期 1986.02.27
申请号 DE19853510522 申请日期 1985.03.22
申请人 USHIO DENKI K.K. 发明人 KIRA,TAKEHIRO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/22 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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