用于半导体室中之氟热启动

摘要

一种以热效应活化一氧化性清洁气体用于一半导体处理室洁净步骤的方法和系统，该氧化的清洁气体是以氧化性清洁气体与加热的惰性气体反应的方式活化。而以热效应活化氧化性清洁气体的结果还没有准备好还原，因此提供了增强的洁净效果。