发明名称 METHOD OF CLEANING A SUBSTRATE IN A SINGLE WAFER TYPE
摘要
申请公布号 KR20070044966(A) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 KR20050101328 申请日期 2005.10.26
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 KIM, HAN OK
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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