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发明名称 SCAN TYPE ELECTRON MICROSCOPE AND SIMILAR DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02142045(A) 申请公布日期 1990.05.31
申请号 JP19880294527 申请日期 1988.11.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 KURODA KATSUHIRO
分类号 H01J37/05;H01J37/147;H01J37/153;H01J37/244 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
主权项
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