| 发明名称 |
HARDENING METHOD FOR SPIN-ON-GLASS FILM MAKING USE OF ULTRAVIOLET RAYS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02260534(A) |
申请公布日期 |
1990.10.23 |
| 申请号 |
JP19890332527 |
申请日期 |
1989.12.20 |
| 申请人 |
GENDAI DENSHI SANGYO KK |
发明人 |
KIN SOUEKI;BOKU KAISEI;SAI CHIYUUKIN;HOO GIYUN RIYUU;KOU ZAIKAN;GU EIBO;BOKU SEIKI;GEN KAZUYOSHI;KIN EIICHI;SHII CHIYUN KIMU |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/283;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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