| 发明名称 |
WAFER MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09260313(A) |
申请公布日期 |
1997.10.03 |
| 申请号 |
JP19960064644 |
申请日期 |
1996.03.21 |
| 申请人 |
TOYO A TEC KK |
发明人 |
KAWAGUCHI KEIJI;HAMAZAKI TATSUMI;TADERA YOSHIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
